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濺射靶材

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因?yàn)榫哂辛己玫碾妼?dǎo)性能、高溫穩(wěn)定性、耐腐蝕性和適用于金屬化層、電極、光學(xué)薄膜和傳感器等制備的特性。鎢鉬靶材成為半導(dǎo)體器件制造過(guò)程中的重要材料之一。